一般指電子線(xiàn)加速電壓在200千伏以上的電子顯微鏡。現(xiàn)在是制作3000千伏的超高壓電子顯微鏡。普通的電子顯微鏡可用于觀(guān)察100納米極薄的材料，而使用超高壓電子顯微鏡就能進(jìn)一步觀(guān)察到更厚、更硬的材料。因?yàn)槭浅邏�，所以可減少由電子線(xiàn)的非彈性散射對(duì)材料的損害，因而能觀(guān)察到接近自然狀態(tài)的材料。電壓越高，電子線(xiàn)的波長(zhǎng)就越短，因而提高了電子顯微鏡的分辨率，就有可能在分子水平或原子水平上觀(guān)察生物體的結(jié)構(gòu)因素。